技術文章
高輸出型芯片周邊曝光用
| 初期紫外線強度 | 2000mw/cm2以上（在365nm，距掩模0.5mm的距離） |
| 強度分布的均勻性 | 10%以下（4x）5mm區域） |
| 紫外線発光源 | 紫外發光二極管 |
| 紫外線発光源壽命 | 20000小時（推定壽命驅動電流最大時）※紫外線強度為初期50%以上的點燈累計時間 |
| 照射ON/OFF功能 | UV-LED的ON/OFF控制（通過遠程及手動控制點亮/熄滅） |
| 光量調整機能 | UV-LED的電流調整光量調整范圍為20～100% |
| 外裝材質 | 不銹鋼 |
| 外形寸法 | 150毫米×200毫米×192毫米 |
光學設計，實現了7，000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長時間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進一步可大幅縮短曝光處理時間，大大有助于芯片處理張數的增大。
產品目錄
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機械設備
- 磁選機
- 純水器
- 超聲波清洗器
- 壓力傳感器
- 流量控制器
- 乳缽機
- 水準儀
- 變送器
- 臭氧檢測儀
- 色譜儀
- 拋光機
- 加熱器
- 張力計
- 混凝土檢測儀
- 加熱板
- 儲藏
- 壓力機
- 熱壓機
- 破碎機
- 振蕩器
- 電爐
- 分散機
- 切割機
- 往復泵
- 攪拌
- 色選機
- 擂潰
- 臭氧發生器
- 氣體發生器
- 混合器
- 移液器
- 高速相機
- 涂布機
- 鍍膜機
- 試驗機
- 球磨機
- 均質機
- 脫泡機
- 點焊機
- 干燥機
- 研磨機
- 密度儀
- 擂搗機
- 混合設備
- 除鐵機
- 電子
- 填充頭
- 裝置
- 點膠筆
- 傳感器
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- 機器
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- 氧氣監視器
- 系統
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- 輪廓儀
- 測量針
- 過濾器
- 比色計
- 亮度計
- 噴霧干燥機
- 真空加熱裝置
- 蒸發器
- 化學合成反應裝置
- 溫度濕度計
- 真空泵
- 循環排水器
- 化學反應裝置
- 工業設備
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儀器儀表
- 抵抗計
- 絕緣電阻計
- 噪聲計
- 深度計
- 記錄儀
- 記錄器
- 溫度儀
- 氣體檢測儀
- 熱電偶
- 粉塵儀
- 磁通計
- 角度計
- 加振器
- 探傷儀
- 氧氣計
- 計量泵
- 尺子測量
- 測量儀
- 密度計
- 馬弗爐
- 恒溫槽
- 壓縮機
- 離心泵
- 螺桿泵
- 葉片泵
- 柱塞泵
- 蠕動泵
- 定量泵
- 隔膜泵
- 酸堿度計
- 濁度計
- 電導率儀
- 鹽分計
- 檢測儀
- 監測儀
- 色度計
- 分光輻射計
- 差壓計
- 壓力表
- 料位計
- 電平計
- 比重計
- 流速計
- 工業內窺鏡
- 扭矩計
- 應力計
- 檢查器
- 檢針器
- 溫度計
- 摩擦計
- 放大鏡
- 粒度儀
- 篩分儀
- 試験機
- 測定儀
- 露點儀
- 電氣爐
- 轉速表
- 水分計
- 濃度計
- 流量計
- 物位計
- 測厚儀
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- 光纖測定器
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- 熱風計
- 數字照度計
- 風速計
- 實體顯微鏡
- 環境測定計
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