產品資料
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
產品名稱: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
產品型號: GPW
產品特點: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表該產品是一種皮拉尼真空計，可以測量從大氣壓到5 x 10 -2 Pa的很大范圍。此外，該真空計消除了傳統控制器的操作和顯示，并縮小到小的必要功能，從而實現了“成本降低"和“節省空間"。
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表 的詳細介紹
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
GPW系列的特點
- 廣域測量：可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進行廣域測量
- 節省布線：通過集成傳感器和控制器實現節省布線，節省空間和節電。
- 視野更佳：配備了可以檢查異常的LED
- 一鍵式調節：一鍵式大氣壓調節和零點調節
- 可維護性：易于更換測針
- 燈絲材料-鉑（Pt）：燈絲材料使用具有優異耐腐蝕性的鉑。
- 測量值輸出信號：壓力為0至10V的對數輸出是標準設備
- 改善的抗沖擊性：具有出色抗沖擊性的設計結構
- 控制輸出信號：可以輸出2個設定點（GPW-1）
- 串行通訊規格：可以進行RS-232C / RS-485通訊（僅GPW-2）
- 符合標準：符合CE標準
用
- 用于各種制造設備（例如太陽能電池，FPD，半導體和電子零件）的低真空區域中的過程控制
- 用于各種工業設備（例如熔爐）的低真空區域中的過程控制
- 用于在具有許多處理腔室的各種制造設備的低真空區域中進行過程控制，例如在線型和單晶片型
規范
| 模型 | GPW-1 | GPW-2 | |
|---|---|---|---|
| 可連接的手寫筆 | 一 | ||
| 自適應手寫筆 | SWP-16（NW-16） | ||
| 測量壓力范圍 | 5.0 x 10 -2至1.0 x 10 5 Pa | ||
| 測量精度* | 1×10 -1?1 ××10 4 Pa：±10％ 5.0×10 -2?1.0 ×10 -1 Pa，1×10 4 Pa?1×10 5 Pa：±20％ | ||
| 重復性 | 1×10 -1 Pa?1×10 4 Pa：±2％ | ||
| 采樣時間 | 50毫秒5次移動平均處理 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓DC 0-10 V | ||
| 壓力指示（對數輸出）1.7 V至8.0 V，1 V /位 | |||
| 更新時間 | 50毫秒 | ||
| 控制輸入??信號 | 集電極開路輸入，負邏輯 ADJ調整（零點調整，大氣壓調整） | --- | |
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出 負邏輯[額定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW] 錯誤信號 設定點1、2 | --- | |
| 監控設定值 | 設定點1，2：0至10 V日志輸出 | --- | |
| 串行通訊規格 | --- | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | 電源/錯誤：電源，錯誤指示燈 | ||
| SET-1：設定點1 LED SET-2：設定點2 LED | --- | ||
| 燈絲材料 | 鉑 | ||
| 工作溫度極限 | 10-40℃ | ||
| 工作濕度范圍 | 15-80％（但是，不結露） | ||
| IP防護等級 | IP30（傳感器單元） | ||
| 安裝姿勢 | 沒有限制 | ||
| 電源電壓 | DC 18 V至30 V，2 W（電源打開時為4.8 W） | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15針（M2.6螺釘） | ||
| 大眾 | 150克（含SWP-16） | ||
| 外形尺寸（電源）W xD x H（mm） | 70 x 46 x 28 | ||
| 符合標準 | CE認證 | ||
*大氣壓調整和零點調整后的精度。
外形尺寸
單位：mm
*規格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
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-
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