硅晶片表面劃痕高亮度檢查鹵素?zé)?/strong>
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日本yamada山田光學(xué) 高輝度鹵素光源裝置 YP-150I 表面檢查燈 YP-250I

　　基本信息高強(qiáng)度鹵素光源裝置

　　超精密平面檢測(cè)的理想選擇！通過(guò)驚人的照明，可以檢測(cè)小于 0.2 μm 的缺陷。

　　“YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置，用于檢測(cè)

　　最終成品表面上的各種缺陷，如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等，是半導(dǎo)體加工過(guò)程中勞動(dòng)強(qiáng)度的一種。晶圓和液晶板

　　...

　　樣品表面的照度可超過(guò) 400,000 Lx。

　　另外，由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗撸?/p>

　　光照不均勻的情況很少，光照***穩(wěn)定銳利。

　　姊妹機(jī)“YP-250I"也可用于 8 英寸。

　　[特點(diǎn)]

　　■ 光源采用鹵素?zé)?/p>

　　■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

　　■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3

　　■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

　　請(qǐng)用于超精密平面檢測(cè)！

　　高亮度鹵素光源裝置“YP-250I"是用于檢測(cè)劃痕、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置。

　　采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗撸瑴p少照明不均，照明***穩(wěn)定銳利。

　　此外，本機(jī)為“YP-150I"的姊妹機(jī)，有螺旋槳風(fēng)機(jī)型和管道風(fēng)機(jī)型可供選擇，可根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行使用。

　　【特點(diǎn)】

　　■ 可照射400,000 Lx以上的樣品表面

　　■ 可選擇螺旋槳式和風(fēng)道式

　　■ 使用冷鏡，熱影響是傳統(tǒng)的1/3

　　■ 高照度觀察和低照度照度觀察是一鍵式 可以

　　■ 8inch 兼容

　　[照明范圍]

　　■ YP-150I… 照度范圍 φ30

　　■ YP-250I… 照度范圍 φ60