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產品資料
首頁 >>> 產品中心 >>> 儀器儀表 >>> 流量計 >>> CO.65/xxxPI V2.0半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計

半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計

產品名稱: 半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計
產品型號: CO.65/xxxPI V2.0
產品特點: 半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計
半導體行業超聲波流量計 CO.65/xxxPI V2.0
夾緊型 · 管用 · 半導體級 · 超聲波 · 0.65-65 L/min
±0.5 %RDG · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.28 kg · 5 年壽命

半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計 的詳細介紹

半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計

半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計

一、產品定位

  • 半導體行業:單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學品
  • 夾緊型管用:無需切斷管道,夾緊安裝,真空/大氣雙模式
  • 超聲波原理:無移動部件,無顆粒生成,Class 100 兼容
  • CO.65/xxxPI V2.0:0.65-65 L/min,±0.5 %RDG,真空 ≤ 1×10?? Pa

一、產品定位

  • 半導體行業:單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學品
  • 夾緊型管用:無需切斷管道,夾緊安裝,真空/大氣雙模式
  • 超聲波原理:無移動部件,無顆粒生成,Class 100 兼容
  • CO.65/xxxPI V2.0:0.65-65 L/min,±0.5 %RDG,真空 ≤ 1×10?? Pa

一、產品定位

  • 半導體行業:單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學品
  • 夾緊型管用:無需切斷管道,夾緊安裝,真空/大氣雙模式
  • 超聲波原理:無移動部件,無顆粒生成,Class 100 兼容
  • CO.65/xxxPI V2.0:0.65-65 L/min,±0.5 %RDG,真空 ≤ 1×10?? Pa

一、產品定位

  • 半導體行業:單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學品
  • 夾緊型管用:無需切斷管道,夾緊安裝,真空/大氣雙模式
  • 超聲波原理:無移動部件,無顆粒生成,Class 100 兼容
  • CO.65/xxxPI V2.0:0.65-65 L/min,±0.5 %RDG,真空 ≤ 1×10?? Pa

一、產品定位

  • 半導體行業:單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學品
  • 夾緊型管用:無需切斷管道,夾緊安裝,真空/大氣雙模式
  • 超聲波原理:無移動部件,無顆粒生成,Class 100 兼容
  • CO.65/xxxPI V2.0:0.65-65 L/min,±0.5 %RDG,真空 ≤ 1×10?? Pa

二、核心技術參數(CO.65/xxxPI V2.0)

表格
復制
項目參數
原理超聲波(時差法)
流量范圍0.65 – 65 L/min(全范圍)
精度±0.5 %RDG(0.65-65 L/min)
真空度≤ 1×10?? Pa(真空版)
大氣版可選(內置泵)
響應時間< 0.1 s(超聲波)
潔凈等級Class 100(0.3 µm ≤ 100 pc/ft3)
接口夾緊型 Φ6-25 mm(可轉 1/4-28)
電源DC 12 V 1 A(含 100-240 V 適配器)
尺寸/重量148×80×35 mm,0.28 kg

二、核心技術參數(CO.65/xxxPI V2.0)

表格
復制
項目參數
原理超聲波(時差法)
流量范圍0.65 – 65 L/min(全范圍)
精度±0.5 %RDG(0.65-65 L/min)
真空度≤ 1×10?? Pa(真空版)
大氣版可選(內置泵)
響應時間< 0.1 s(超聲波)
潔凈等級Class 100(0.3 µm ≤ 100 pc/ft3)
接口夾緊型 Φ6-25 mm(可轉 1/4-28)
電源DC 12 V 1 A(含 100-240 V 適配器)
尺寸/重量148×80×35 mm,0.28 kg



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